上海在MOEMS無阻塞16×16陣列光開關(guān)研制方面取得新進展

    光開關(guān)是光學(xué)測試和光通信系統(tǒng)中的關(guān)鍵器件。在光通信系統(tǒng)中，光開關(guān)是實現(xiàn)光交換的核心器件，隨著密集波分復(fù)用(DWDM)技術(shù)在光纖通信中的廣泛應(yīng)用，光開關(guān)的研究日益成為全光通信網(wǎng)絡(luò)關(guān)注的熱點。

    “基于MOEMS無阻塞16×16陣列光開關(guān)”項目是上海光機所信息光學(xué)實驗室和上海交通大學(xué)微納米技術(shù)研究院聯(lián)合承擔(dān)國家“863”計劃項目，在該項目的研制過程中，課題組特別注重光開關(guān)器件的可靠性和穩(wěn)定性工藝技術(shù)的深入研究，在陣列光開關(guān)的整體結(jié)構(gòu)設(shè)計、基于MEMS的微電磁執(zhí)行器制備、微光學(xué)雙面反射鏡制備、光纖準直器的固定封裝工藝、多路對多路矩陣光開關(guān)的精密裝配技術(shù)、陣列光開關(guān)的組封裝和無阻塞算法等方面不斷改進，組建了一套穩(wěn)定可靠的制備工藝平臺和裝配流程，并且編制了一套基于嵌入式系統(tǒng)的光開關(guān)調(diào)試、測試計算機控制管理軟件系統(tǒng)。目前，課題組已經(jīng)成功地研制出基于MOEMS的1×2、2×2、4×4、8×8和16×16陣列光開關(guān)，并均通過了華東國家計量測試中心上海市計量測試技術(shù)研究院檢驗和測試。其中基于MOEMS無阻塞8×8和16×16陣列光開關(guān)主要性能為：插入損耗≤4dB，回波損耗≤-50dB，串擾￡-70dB，交換時間≤10ms，具有無阻塞特性和自鎖功能。基于MOEMS無阻塞4×4陣列光開關(guān)主要性能：插入損耗￡2dB，回波損耗￡-50dB，串擾￡-70dB，交換時間￡10ms，具有無阻塞特性和自鎖功能。1×2和2×2光開關(guān)的溫度相關(guān)損耗(0°至65°C)小于0.5dB，插入損耗≤0.8dB,開關(guān)時間≤8ms，回波損耗≤-50dB，串擾≤-70dB，具有自鎖功能。

    光電子國家“863”計劃專家組陳浩明教授一行四人于9月17日來所全面檢查了“基于MOEMS無阻塞16×16陣列光開關(guān)”課題組的研究工作，親臨現(xiàn)場觀看了16×16陣列光開關(guān)的光交換演示實驗，對該項目取得的新進展和研究成果予以充分肯定，并希望研制成功的陣列光開關(guān)器件能夠用于光通信網(wǎng)絡(luò)試驗。